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粗糙和轮廓测量仪器接触法

接触式轮廓仪表面粗糙度轮廓仪的接触式，即采用触针法。触针法又称针描法，它是将一个很尖的触针(半径可以做到微米量级的金刚石针尖)垂直安置在被测表面上作横向移矶触针将随着被测表面轮廓形状作垂直起伏运魂将这种微小位移通过电路转换成电信号并加以放大和运算处理，即可得到工作表面粗糙度参数值，主要分为电感式压电式感应式等几种。这种仪器稳定性好，示数客观可靠，使用方便等优点，其垂直分辨力可达到几纳米。

粗糙和轮廓测量仪器

光切法光切法是利用光切原理来测量表面粗糙度的方法，它将一束平行光带以一定角度投射与被测表面上，光带与表面轮廓相交的曲线影像即反映了被测表面的微观几何形状，解决了工件表面微小峰谷深度的测量问题，避免了与被测表面的接触。由于它采用了光切原理，所以可测表面的轮廓峰谷的大和小高度，要受物镜的景深和鉴别率的限制。峰谷高度超出一定的范围，就不能在目镜视场中成清晰的真实图像而导致无法测量或者测量误差很大但由于该方法成本低、易于操作，所以还在被广泛应用，如上海光学仪器厂生产的9J(BQ)光切法显微镜。

轮廓测量仪器工作原理

该仪器工作台采用高精度的横向气浮道轨和滚动垂直道轨，移动精度高、稳定性好、寿命长；测量、装卡方便、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。该仪器可根据用户的需要对软件进一步开发，更广泛的满足用户的测量形状的要求，并备有多种工装备件，供用户根据自己的要求选择使用。

技术性能：1、测量范围：轴φ1-180mm，套不大于φ200mm，长度不大于220mm。2、示值误差：1%± 0.1u。3、测量精度：不大于0.5u。4、气浮工作台移动精度：动态不大于0.2u/100mm。5、电源：220v，50Hz，0.5kw。6、气源压力：0.5-0.8Mpa。

电动轮廓仪是通过仪器的触针与被测表面的滑移进行测量的，是接触测量。其主要优点是可以直接测量某些难以测量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某种评定标准读数或是描绘出表面轮廓曲线的形状，且测量速度快、结果可靠、操作方便。但是被测表面容易被触针划伤，为此应在保证可靠接触的前提下尽量减少测量压力。精度保证由液压或者气浮导轨等高精密装置完成电动轮廓仪按传感器的工作原理分为电感式、感应式以及压电式多种。仪器由传感器、驱动箱、电器箱等三个基本部件组成。