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粗糙和轮廓测量仪器

表面粗糙度轮廓仪是采用一条轮廓中线作为评定基准，借助评定参数：轮廓算术平均偏差Ra、微光不平度十点高度Rz、轮廓大高度Ry、轮廓微观不平度的平均间距***、轮廓的单峰平均间距S、轮廓支承长度率tp等六个参数对表面质量进行评定，终得到所需表面粗糙度的测试检测仪器。表面粗糙度轮廓仪可分为接触式和非接触式。

粗糙和轮廓测量仪器接触法

接触式轮廓仪表面粗糙度轮廓仪的接触式，即采用触针法。触针法又称针描法，它是将一个很尖的触针(半径可以做到微米量级的金刚石针尖)垂直安置在被测表面上作横向移矶触针将随着被测表面轮廓形状作垂直起伏运魂将这种微小位移通过电路转换成电信号并加以放大和运算处理，即可得到工作表面粗糙度参数值，主要分为电感式压电式感应式等几种。这种仪器稳定性好，示数客观可靠，使用方便等优点，其垂直分辨力可达到几纳米。

粗糙和轮廓测量仪器工作原理

接触式表面粗糙度轮廓仪的工作原理触针式表面粗糙度轮廓仪由传感器、 驱动箱、指示表、 记录器和工作台等主要部件组成。电感传感器是轮廓仪的主要部件之一，传感器测杆一端装有触针 （由于金刚石耐磨、 硬度高的特点， 触针多选用金刚石材质）， 触针的要求曲率半径很小，以便于的反映表面情况。 测量时将触针搭在加工件的被测表面上， 并使针尖与被测面保持垂直接触， 利用驱动装置以缓慢、 均匀的速度拖动传感器。 由于被测表面是一个有峰谷起伏的轮廓， 所以当触针在被测表面拖动滑行时， 将随着被测面的峰谷起伏而产生上下移动。 此运动过程又运用杠杆原理经过支点传递给磁芯， 使它同步地在电感线圈中作反向上下运动， 并将运动幅度放大， 从而使包围在磁芯外面的两个差动电感线圈的电感量发生变化， 并将触针微小的垂直位移转换为同步成比例的电信号。

粗糙和轮廓测量仪器像散测定法

其测量原理物体表面上被照射着的光B通过物镜成像于位置Qx当光点与物镜距离(光轴方向)变到A或者C时，则成像位置也会分别移至Px或Sx若从处于中间并垂直于光轴的面上来观察其光束，就可发现光束的直径也随之变化也就是可以检测光束直径的变化量来判断成像的位置在物镜后面插入一块只能在Y轴方向聚束的柱面透镜Y轴方面的成像将往前移至Py，Qy，Sy以后光束便发散由于X轴，Y轴方向上成像位置的不同，光束成椭圆状，如图4所示，故光点远离物镜时，则为长轴在Y轴上的椭圆;相反，靠近物镜时，则为长轴在X轴上的椭圆，用象限光电探测器(四等分光电二极管)作传感器，光束经光电转换后再放大和计算，可获得与被测表面微小变位量相对应的输出信号，这种方法分辨力可达到纳米级别，但测量范围较小。